加工事例
半導体検査装置用2ステージテーブル
加工のポイント
平面研磨によってステージ面の平行度、平面度を100分の1に仕上げた。
横幅400mmを超える大型の加工を要求精度を出しながら実現した。
スペック情報
- 材質
A7075（超々ジュラルミン）
- 寸法・精度
580mm×460mm×27.5mm、平行度・平面度0.01
※2ステージ- 用途・産業
半導体検査装置
