加工事例
半導体検査装置用チップステージ
加工のポイント
ステージ面の面粗度に精度が要求された製品。
鏡面仕上げで対応し、位置精度100分台以下を実現した。
スペック情報
- 材質
SKD11（HRC60）
- 寸法・精度
・240mm×90mm
・位置精度0.01以下- 用途・産業
半導体検査装置
