加工事例
半導体検査装置用4ステージテーブル
加工のポイント
2ステージテーブルを4ステージ用に改良した製品。
平面研磨によってステージ面の平行度、平面度を100分の1に仕上げた。
横幅400mmを超える大型の加工を要求精度を出しながら実現した。
ステージ数が増えた分、精度出しの必要な部位も増えるため、加工難度が非常に高い。
スペック情報
- 材質
A7075（超々ジュラルミン）
- 寸法・精度
680Φ×660角×27.5mm、平行度・平面度0.01
※4ステージ- 用途・産業
半導体検査装置
